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激光谐振腔激光谐振腔是激光束产生的地方它是一个光放大器。谐振腔是安装了光学器件的热与机械的稳定结构。为获得大体积均匀的辉光放电，设计时一般采用分段电离，利用多个放电管分段放电。放电时，激体沿着它的玻璃管（放电管）流动，一般正电极位于气流方向上游负电极位于下游。当高压直流电流通过阴极和阳极时，会产生辉光放电，经过谐振腔的共振放大，产生高功率的激光输出。工作气体激发过程中产生的废热，要通过气体流动在热交换器中排出。
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商品化的高功率激光器都必须给出M2值（或TDL值）。常用的高功率千瓦级二氧化碳激光器的TDL值在1~3之间。实际报道的值为M2=k.2.衡量光束质量的另一重要指标是光束聚焦后光点的空间和时间的稳定性。它要求激光束的模式和功率长时间的稳定。常用二氧化碳激光器的光束稳定度≤0.2mrad要获得好的光束质量，在谐振腔设计上应该做到基模或低阶模的输出，同时气体的折射率和增益分布是轴对称（或圆对称的）。