






产品描述
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率、极限压力的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面、离子注入机和空间模拟装置等方面。
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吸附材料对低温泵的工作性能具有较大的影响。单从真空获得方面来说,一台*吸附剂的低温泵或许也可以满足要求。但是,一般情况下低温泵是依靠液氦或制冷机而获得低温的,其温度能达到4 K。而此时又需要低温泵抽除氦气,因为真空检漏会经常用到氦气。
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闭路循环气氦制冷机低温泵
它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便,易于维修,应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦,一级冷板温度为50~100K,典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10~20K,用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。
绝缘性:不受环境及频率的影响,体积电阻可达1018欧姆?厘米,介质损耗小,击穿电压高。
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